邵建达的个人简介
邵建达,研究员,博士生导师。1964年12月出生,浙江宁海人。1986年毕业于浙江大学无线电与电子工程学系。1994年6月、1998年3月在中科院上海光机所分别获得光学工程硕士、博士学位,导师为范正修研究员与王润文研究员。现为中科院上海光机所所长。研究方向为:先进光学制造技术、光学薄膜、激光与材料相互作用、强激光材料、光学精密检测技术。
人物贡献
自1986年到中国科学院上海光机所工作后,一直从事光学薄膜技术与光电信息功能薄膜的研究工作,涉及薄膜的沉积技术、监控技术以及薄膜的光学特性和物理特性的研究与发展。在软x射线多层膜、大尺寸高强度激光薄膜、光通讯薄膜有比较深入的研究。其中1994年1月至1995年1月在英国Reading University的J J Thomson物理实验室,作为访问学者从事超薄膜生长特性的研究;1998年7月至1999年6月作为国际理论物理中心TRIL项目奖学金获得者,在意大利国家研究委员会下属的博洛尼亚LAMEL研究所从事半导体材料特性的研究工作。
现有的课题包括“神光Ⅲ大尺寸高强度激光薄膜的研制”、“软x射线多层膜光学元件的研制”、“光学薄膜的激光损伤机理的研究”、“Develop titanium nitride base coatings with higher electrical conductivity and spectral selectivity”(项目与新加坡公司合作课题)、光通讯用“无色散DWDM光学薄膜的研制”(该项目与美国公司合作课题)、“投影电视用光学薄膜研究与开发”(该项目与英国公司合作课题)等。
牵头的”大尺寸高性能激光偏振薄膜元件成套制备工艺技术及应用”项目,从基础研究出发,提出并贯彻了激光薄膜全流程控制的系统工程解决方案,攻克了基板加工、镀膜和检测相关系列关键技术难题,成功研制出大尺寸高性能激光偏振薄膜元件,打破了西方的技术封锁和高端产品禁运。上海光机所是独立掌握从加工到镀膜全工艺流程技术的研发机构,研制的大尺寸偏振薄膜元件已成功应用于我国神光系列激光装置,并出口俄罗斯、以色列等国,满足了我国激光聚变研究的重大战略需求,并推动了我国激光薄膜和相关行业的技术进步。
个人荣誉
是《中国激光》《光学精密机械工程》期刊编委,2002年度上海市科学技术委员会科技预见专家,中国光学学会薄膜专业委员会委员、上海市激光学会光学薄膜专业委员会主任。发表论文300余篇,是国际激光破坏会议国际组委会成员、环太平洋高功率激光破坏和激光材料国际会议主席,《中国激光》《光学精密机械工程》等期刊编委,中国光学学会光学材料专业委员会主任委员、上海市激光学会副理事长。获得过国家技术发明奖二等奖,国防科技进步奖二等奖、中国科学院科技进步奖二等奖以及上海市科技进步二等奖。
2015-09-22-今,国际玻璃协会“Coating of glass”(TC24)委员,
2010-06-06-今,国际OIC会议的2010年会议的组织委员会委员,
2009-12-01-今,中科院上海光机所技术委员会, 副主任
2008-09-27-今,美国Boulder激光破坏年会组织委员会委员
奖励信息
(1) 2012863804201,二等奖,部委级,2012
(2) “十一五”国家科技计划执行突出贡献奖,部委级,2011
(3) 国防科技工业协作配套先进个人,部委级,2006
(4) 神光Ⅲ大尺寸高强度激光薄膜的研制,三等奖,省级,2003
专利成果
(1) 夹具三维运动的控制装置,发明,2007,第2作者,专利号:ZL200410018497.6
(2) 离子束流密度和能量的同步测量装置,发明,2008,第3作者,专利号:ZL200720075175.4
(3) 加快镀膜机真空室达到高真空度的方法,发明,2009,第5作者,专利号:ZL200610030790.3
(4) 离子束流密度和能量的同步测量装置,发明,2009,第3作者,专利号:ZL200710046649.7
(5) 提高光学薄膜激光损伤阈值的镀膜方法,发明,2007,第3作者,专利号:ZL200410066749.2
(6) 光学膜厚监控系统,发明,2008,第4作者,专利号:ZL200510024987.1
(7) 透反型斩光器,发明,2007,第4作者,专利号:ZL200410093016.8
(8) 镀膜夹具的计算机控制装置,发明,2007,第3作者,专利号:ZL200410084247.2
(9) 计算机控制镀膜装置,发明,2008,第5作者,专利号:ZL200510026448.1
(10) 双波长激光同时辐照光学薄膜损伤阈值测量装置和方法,发明,2010,第4作者,专利号:CN201010126608.0
(11) 真空镀膜机中修正挡板的自动切换装置,发明,2007,第5作者,专利号:ZL200410084405.4
(12) 米量级光学元件的超高精度加工方法,发明,2013,第5作者,专利号:201310554717.6
(13) 提高薄膜光谱性能的膜厚监控方法,发明,2012,第4作者,专利号:ZL201110094660.7
(14) 偏振无关1550纳米波长高衍射效率双层透射光栅,发明,2013,第5作者,专利号:CN103364855A
(15) 梯形金属介质膜宽带脉冲压缩光栅,发明,2013,第5作者,专利号:201310544973.7
(16) 磷酸盐激光玻璃元件平行斜面间距离的测量装置,发明,2013,第5作者,专利号:103162594A
(17) 光控-晶控综合膜厚监控系统,发明,2013,第4作者,专利号:201310451684.2
(18) 一种新型磁流变液回收管,发明,2013,第5作者,专利号:201310428700.6
(19) 改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板的设计方法,发明,2013,第4作者,专利号:201310684126.0
(20) 一种用于加工非球面的柔性自适应型抛光小工具,发明,2015,第3作者,专利号:201510149319.5
(21) 多层介质膜截止滤光片组合器件,发明,2013,第4作者,专利号:201310596720.4
(22) 全频段高精度非球面光学元件的加工方法,发明,2015,第1作者,专利号:201510149320.8
发表论文
(1) Beam modulation caused by the plasma scalds in the multilayer dielectric films,Optics Letters,2015,第5作者
(2) Impact of substrate pits on laser-induced damage performance of 1064-nm high-reflective coatings,Optics Letters,2015,第5作者
(3) Defect analysis of UV high-reflective coatings used in the high power laser system,Optics Express,2015,第5作者
(4) Mitigation of scattering defect and absorption of DKDP crystals by laser conditioning,Optics Express,2015,第5作者
(5) Moisture absorption characteristics of a SiO2 film from 2 to 3 μm,Chinese Optics Letters ,2015,第4作者
(6) Real-time surface figure monitoring of optical elements in continuous polishing,Chinese Optics Letters ,2015,第5作者
(7) Postprocessing treatments to improve the laser damage resistance of fused silica optical surfaces and SiO2 coatings,Chinese Optics Letters,2015,第5作者
(8) Modeling the effect of nanosecond laser conditioning on the femtosecond laser-induced damage of optical films,Optics Express ,2015,第5作者
(9) Influence of SiO2 overcoat layer and electric field distribution on laser damage threshold and damage morphology of transport mirror coatings,Optics Communications,2014,第5作者
(10) CO2 laser mitigation of the ultraviolet laser damage site on a fused silica surface,Optical Engineering,2014,第5作者
(11) Nanosecond laser pulse induced concentric surface structures on SiO2 layer,Optics Express,2014,第5作者
(12) 1064 nm nanosecond laser induced concentric rings and periodic ripples structures at the exit surface of fused silica,Applied Surface Science,2014,第5作者
(13) Novel theory analysis and new perspective on angular selectivity, Optics Communications, Optics Communications,2014,第5作者
(14) Fabry-Perot filter constructed with anisotropic space layer and isotropic mirrors,J. Opt. Soc. Korea,2013,第4作者
(15) Design and fabrication of broadband chirped Mirror pair,ACTA PHYSICA SINICA,2013,第2作者
(16) Effect of Advanced Plasma Source bias voltage on properties of HfO2 films prepared by plasma ion assisted electron evaporation from metal hafnium, Thin Solid Films,2013,第5作者
(17) Method of mitigation laser-damage growth on fused silica surface,Applied Optics.,2013,第5作者
(18) Real-time damage event imaging reveals the absorber inducing laser damage with low density in solgel antireflective coatings,J. Opt. Soc. Am. B,2013,第3作者
(19) Ultrashort laser-driven stable-buckling of blisters in chirped mirror,Appl. Phys. Lett.,2013,第3作者
(20) Influence of adsorption kinetics on stress evolution in magnetron-sputtered SiO2 and SiNx films,Journal of Applied Physics,2013,第4作者
(21) Reaction mechanism and the effects of additives on the polishing of phosphate laser glass,Optical Engineering,2013,第5作者
(22) Influence of composition and seed dimension on the structure and laser damage of nodular defects in HfO2/SiO2 high reflectors,Appl. Opt. ,2012,第4作者
(23) Effect of nanosecond laser pre-irradiation on the femtosecond laser-induced damage of Ta2O5/SiO2 high reflector,Appl. Opt.,2012,第5作者
(24) Stress evolution in HfO2/SiO2 multilayers,Thin Solid Films,2012,第4作者
(25) Effects of substrate temperatures and deposition rates on properties of aluminum fluoride thin films in deep-ultraviolet region, Applied Optics,2012,第5作者
(26) Laser conditioning of high-reflective and anti-reflective coatings in vacuum environments,Opt. Commun,2010,第4作者
(27) Optimization design of an ultrabroadband, high-efficiency, all-dielectricgrating,Optics Letters,2010,第3作者
(28) Studies of laser damage morphology reveal subsurface feature in fused silica,Surface and Interface,2010,第5作者
(29) 基于泄漏模共振的多层介质膜光栅宽角谱特性实现,物理学报,2010,第4作者
(30) The coupling effect of simultaneous multi-wavelength irradiation on multilayer thin-films,Optics Communications,2010,第2作者
(31) Further Investigation on the Damage Characteristic of nodular defects,Applied Optics,2010,第5作者
(32) Guided-mode resonances in multimode planar periodic waveguides,Chinese Optics Letters,2010,第3作者
(33) Effect of two organic contamination modes on laser-induced damage of high reflective films in vacuum,Thin Solid Films,2010,第3作者
(34) Design and analysis of different types of dispersion mirrors,Chinese Optics Letters,2010,第2作者
(35) Calculation of femtosecond pulse laser induced damage threshold for broadband antireflective microstructure arrays,Opt. Exp.,2009,第2作者
(36) Effect of multiple wavelengths combination on laser-induced damage in multilayer mirrors,Opt. Exp.,2009,第2作者
(37) Nonpolarizing guided-mode resonance filter,Optics Letters ,2009,第3作者
(38) Damage performance of thin-film beam splitter for third harmonic separation under simultaneous exposure to 1ω and 3ω pulses,Optics Communications ,2009,第2作者
(39) Investigation of the errors of thickness and refractive index in manufacturing Gires-Tournois interferometer negative-dispersion mirrors,J. Opt. A: Pure and Applied Optics,2009,第2作者
(40) Thermal-mechanical modeling of nodular defect embedded within multilayer coatings,J. Vac. Sci. Technol. A,2009,第2作者
(41) Study on the layer structure of W/Cmultilayers deposited by magnetron sputtering using x-ray reflectivity,Surface and Interface Analysis,2008,第3作者
(42) Mechanism initiated by nanoabsorber for UV nanosecond-pulse-driven damage of dielectric coatings,Opt. Exp,2008,第2作者
(43) Enhancement of near-band edge photoluminescence of ZnO thin films in sandwich configuration at room temperature,Journal of Applied physics,2006,第2作者
发表著作
Pacific Rim Laser Damage 2011, Optical Materials for High-Power Lasers, SPIE, 2012-02, 第 1 作者
Pacific Rim Laser Damage 2013, Optical Materials for High-Power Lasers, SPIE, 2013-07, 第 1 作者
( 3 ) 光学薄膜及其应用, Optial oatings and its application, 上海交通大学出版社, 2014-02, 第 2 作者
( 4 ) 激光诱导材料损伤(第六节), Laser-induced Damage in Optical Materials(chapter 6), CRC Press, 2014-09, 第 1 作者
Pacific Rim Laser Damage 2014, Optical Materials for High-Power Lasers, SPIE, 2014-10, 第 2 作者
Pacific Rim Laser Damage 2015, Optical Materials for High-power Lasers, SPIE, 2015-08, 第 1 作者
科研项目
( 1 ) 基底亚表面缺陷对激光薄膜的性能影响及其表征与控制, 主持, 国家级, 2009-01--2011-12
( 2 ) 非常规光学零部件检测装置与镀膜工艺研发, 主持, 国家级, 2011-01--2013-10
( 3 ) XXX元器件攻关计划协调课题, 主持, 国家级, 2010-01--2018-12
( 4 ) 光学元器件攻关计划, 主持, 国家级, 2016-01--2018-12
( 5 ) 国家重大专项条件建设, 主持, 国家级, 2013-12--2018-12
( 6 ) 重大专项光学元器件攻关计划, 主持, 国家级, 2010-01--2015-12